法兰连接是广泛应用在真空机组里的连接方式，比如真空泵与管道、阀门、冷阱之间的连接。常见的三种真空法兰规格为CF、KF、ISO。那么它们有什么区别呢？
1.CF 法兰：
CF是Conflat Flange的缩写，属于金属静密封，密封材质通常为Viton、PTFE、无氧铜等，法兰材质一般为SS304， SS316等，可以承受高温烘烤，适用的真空度最高达10-12 mbar，常见的口径包括：DN16, 40, 63, 100, 160, 200，250等.
2.KF法兰：
KF属于快卸法兰，拆装简单，主要构成部分为：法兰、密封圈、定心支架、卡箍。密封材质通常为Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、铝等，法兰材质一般为SS304， SS316等，可以承受高温烘烤，适用的真空度最高达10-8 mbar，常见的口径包括：DN 10, 16, 25, 40, 50等。
3.ISO法兰 （又可以细分为ISO-K和ISO-F两种）：
密封材质通常为Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、铝丝等，法兰材质一般为SS304， SS316等，如果使用氟橡胶O形圈，可以承受150℃烘烤。适用的真空度最高达10-8 mbar，常见的口径包括：DN 63, 100, 160, 200, 250, 320, 400, 500 和630等。ISO法兰和配管可用于从大气压到高真空，经常装拆的各种应用中。一般管子的直径超过50mm(2英寸)。ISO法兰常用的两种形式是ISO-K和ISO-F。
a、ISO-K真空接头通常由法兰(flang)、法兰爪(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位环 (centering ring) 组成。见下图。
b、ISO-F真空接头通常由法兰(flang)、密封圈(O-Ring)、中心定位环 (centering ring) 组成，与ISO-K不同的地方是法兰用螺栓坚固。见下图。
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编辑：傅燕俊（上海坎特真空科技有限公司）